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X射線（xiàn）熒光光譜（pǔ）法的定量分析是以熒（yíng）光X射線的強度為依據的，因此，一切影響X射線熒光光譜儀射線強度的因素都必將影響分析的準確度。
1、基（jī）體效（xiào）應
基體效應包括吸收效應及增強效應兩種效應。
吸收效應包括基體對入（rù）射X射線的吸收及對熒光（guāng）X射線的吸收。因為用入射X射線激（jī）發樣品時，它（tā）不隻是作用於樣品表麵而且能（néng）穿（chuān）透一（yī）定的厚度（dù）進入樣品內部，同（tóng）樣，樣品內部（bù）分析元素（sù）產生的熒光X射線（xiàn），也必須穿過一定厚度的樣品才能射出。顯然，在穿透過程中，這兩種X射線都會（huì）因基體元素的吸收（shōu）而（ér）使（shǐ）其強度減弱，入射X射線強度的減弱會影響對分（fèn）析元素的激（jī）發效率，而X射線熒光強度的降低則直接影響分析準確度。
若入射X射線使某基體元素激發所產生（shēng）的熒光（guāng）X射線的波長稍短於分析元素（sù）的吸收邊，它便會使分析元素ipA發產生二（èr）次熒光X射線，從而使分析元素的熒光X射線（xiàn）強度增強，這就是墓體的（de）增強效（xiào）應（yīng）。
如果吸收效應占主導地位，則分析結果偏低（dī），如果增強效應占主導地位，則分析結果偏高。
2、不均勻效應
不均勻效應係指樣品顆粒大小不均勻及（jí）樣品表麵（miàn）光潔度對熒光X射線強度的影響。對於粉末樣品，大顆粒吸收效應強，小顆（kē）粒吸收效應弱，因此，要求顆粒粒度（dù）盡量小（xiǎo）一（yī）些，以（yǐ）減少對X射線的吸收。測員（yuán）短波X射（shè）線時，一般要求粒度在250目以上，‘測量波長大於0.2nm的長波（bō）x射（shè）線時，則要求粒度（dù）在400目以上。
固體（tǐ）塊狀（zhuàng）試樣的喪（sàng）而一定要磨平拋光，對粉末試樣則要（yào）求壓實並使表（biǎo）麵平滑。粗糙（cāo）表麵會使熒光X射線的強度明顯下降。測量短波X射（shè）線（xiàn）時，要求光潔（jié）度在1005m左右，測量長波（bō）X射線時，光（guāng）潔度為（wéi）20-50Mm。
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